出版商：SPIE
出版語言：English
出版地區：UNITED STATES
出版周期：Quarterly
ISSN：1932-5150
E-ISSN：1932-5134
創刊時間：2007
是否OA：未開放
是否預警：否
中科院 2023年12月升級版：中科院分區2區 大類學科：物理與天體物理
收稿方向：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
學術咨詢：預計審稿周期： 較慢,6-12周 CiteScore：3.4
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《微/納米光刻、MEMS 和 MOEMS 雜志》（JM3）發表同行評審的論文，內容涉及光刻、制造、封裝和集成技術的科學、開發和實踐，這些技術對于滿足電子、微機電系統、微光機電系統和光子學行業的需求必不可少。
微納光刻技術雜志創刊于2007年，由SPIE出版社出版。其研究的主題領域包括但不限于ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY，是一本在物理與天體物理領域具有重要影響力的國際期刊。該期刊涵蓋了物理與天體物理的多個子領域，旨在全面理解和解決物理與天體物理問題。
根據最新的數據，微納光刻技術雜志CiteScore為3.4，h-index為37，SJR為0.393，SNIP為1.723，中科院分區為2區，這些指標均顯示了該期刊在物理與天體物理領域的優秀地位。
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*期刊發文量是一個量化的指標，用于衡量期刊的出版活動和學術影響力。
*綜述文章是一種特定的學術文體，專門用來回顧和總結某一領域或主題的現有研究成果和理論進展。
*發文量和綜述量都在學術出版中都扮演著重要的角色，但關注的焦點和目的不同。
| 學科類別 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 大類：Engineering 小類：Mechanical Engineering | Q2 | 299 / 672 |
55% |
| 大類：Engineering 小類：Electrical and Electronic Engineering | Q2 | 389 / 797 |
51% |
| 大類：Engineering 小類：Atomic and Molecular Physics, and Optics | Q3 | 113 / 224 |
49% |
| 大類：Engineering 小類：Condensed Matter Physics | Q3 | 223 / 434 |
48% |
| 大類：Engineering 小類：Electronic, Optical and Magnetic Materials | Q3 | 155 / 284 |
45% |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 物理與天體物理 | 2區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學：綜合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 OPTICS 光學 | 3區 3區 3區 3區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 物理與天體物理 | 3區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學：綜合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 OPTICS 光學 | 4區 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學：綜合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 OPTICS 光學 | 4區 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學：綜合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 OPTICS 光學 | 4區 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學：綜合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 OPTICS 光學 | 4區 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 3區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學：綜合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 OPTICS 光學 | 4區 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
*中科院期刊分區表是中國科研界廣泛認可的期刊評價體系，是由中國科學院文獻情報中心科學計量中心編制的一套期刊評價體系,在中國的科研界具有較高的認可度和影響力，常被用作科研項目評審、職稱評定、學術評價等方面的參考依據。
| 按JIF指標學科分區 | 收錄子集 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 學科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 187 / 275 |
32.2% |
| 學科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q3 | 255 / 342 |
25.6% |
| 學科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 91 / 107 |
15.4% |
| 學科：OPTICS | SCIE | Q3 | 68 / 100 |
32.5% |
該期刊是一本由SPIE出版社出版的學術期刊，屬于JCR分區中學科領域的區期刊，中科院分區為物理與天體物理學科領域2區。該期刊的ISSN為1932-5150，近一年未被列入預警期刊名單，是一本國際優秀期刊。
該期刊涉及的研究領域是ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY，在中科院分區表中大類學科為SPIE，小類學科為SPIE，在準備向該期刊投稿時，請確保您的研究內容與期刊的研究領域緊密相關至關重要。
Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems期刊2023年的影響因子是0，2022年的影響因子是2，該期刊審稿周期預計需要約 較慢,6-12周 ，為了確保您的投稿過程順利進行，請合理規劃時間投稿。
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中科院 4區
