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《真空科學與技術學報雜志》注重性、學術性，努力做到風格清新、雅俗共賞。創刊于1981年，經新聞總署批準公開發行的專業性學術期刊，CN:11-5177/TB。創刊以來一直是各種工業信息交流的重要平臺。
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綜述評述 研究快報 研究論文
[1]參考文獻：參考文獻以作者親自閱讀過的近5 年文獻為主，一般不少于15 條，文獻按順序編碼制著錄。
[2]摘要應在200字以內，要求文字通順、簡練，反映論文的主要觀點。用第三人稱敘述，不用“本文”、“作者”等為主語，可用“文章”等。
[3]署名應限于參加研究工作并可解答論文有關問題者，所有作者均須注明所在單位、城市及郵編(中英文均須全稱)。
[4]作者應嚴格遵守國家保密法規的有關規定，文章凡涉密的內容請自行刪除。
[5]文章標題：主標題一般不超過20個漢字，必要時可加副標題，用加粗的宋體小2號字。
| 主題名稱 | 發文量 | 相關發文學者 |
| 濺射 | 429 | 巴德純；莊大明；張弓；王德苗；李德軍 |
| 磁控 | 381 | 莊大明；張弓；巴德純；王德苗；李德軍 |
| 磁控濺射 | 363 | 莊大明；張弓；巴德純；王德苗；李德軍 |
| 真空 | 248 | 戴永年；楊斌；劉大春；徐寶強；陳秀敏 |
| 等離子體 | 223 | 陳強；辛煜；王世慶；方志；田修波 |
| 納米 | 194 | 郭太良；楊尊先；李長生；唐華；李德軍 |
| 合金 | 181 | 楊斌；戴永年；劉大春；董闖；李廷舉 |
| 光學 | 128 | 韓高榮；熊玉卿；巴德純；王多書；董茂進 |
| 性能研究 | 103 | 郭太良；李長生；王君；唐華；黃楠 |
| 值模擬 | 101 | 王曉冬；何麗娟；李得天；田寶云；杜亞威 |
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立方結構PbSe薄膜在六角硒化鎘單晶(0001)表面的外延生長研究 潘棋; 王健; 任羿烜; 范旭東; 程紅娟; 劉興釗
SiC陶瓷真空釬焊接頭的組織及性能分析 祝鑫; 石浩江; 趙毅; 張瑞謙; 商佳程; 李鳴; 顏家振
甘油環境下不同涂層配副摩擦力矩的對比研究 郭武明; 孫東; 蒲吉斌; 毛春龍; 王海新
預濺射時長對TiN鍍層成膜情況的影響研究 鐘利; 陳美艷; 沈麗如
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單雙極性輝光等離子體處理有機高分子材料 但敏; 李建; 李明久; 王新超; 董思成; 金凡亞
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該期刊創刊于1981年，出版地方是北京，先后獲得中國優秀期刊遴選數據庫中國期刊全文數據庫（CJFD）、中國學術期刊（光盤版）全文收錄期刊、中國科技期刊優秀期刊、北大圖書館收錄期刊、等榮譽，是一本有一定影響力的學術期刊。
該期刊國際刊號：1672-7126，國內刊號：11-5177/TB。相關信息可以在國家新聞出版總署網站上查詢。如果您還有疑問，可以聯系客服，了解更多詳情。
影響因子現已成為國際上通用的期刊評價指標，它不僅是一種測度期刊有用性和顯示度的指標，而且也是測度期刊的學術水平，乃至論文質量的重要指標。該期刊影響因子為0.53，復合影響因子為0.43。
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